ECCO 95.010+ ECCO 95.020+ ECCO 95.040+ ECCO 95.100+ ECCO 95.200+ 视野范围（近 | 中 | 远） 10.5 | 11 | 11.5 mm 22 | 25 | 28 mm 34 | 36 | 38 mm 72 | 98 | 124 mm 125 | 190 | 280mm 测量范围 5 mm 16 mm 16 mm 100 mm 300 mm 工作距离 25 mm 63 mm 55 mm 145 mm 320 mm 垂直分辨率（Z） 0.37 – 0.45 μm 1.1 – 1.6 μm 1.4 – 1.8 µm 5 – 12 μm 12 – 50µm 水平分辨率（Y） 5.8 – 6.8 μm 11.5 – 14.5 μm 18 – 20 µm 42 – 70 μm 66 – 138µm Z线性精度 0.015% 0.005% 0.006% 0.002% 0.015% Z重复精度 0.1 μm 0.2 μm 0.4 μm 2 μm 3.3 μm 重量 约550 g 约550 g 约550 g 约550 g 约550 g 部件编号 3.001.202 (激光级别2) 3.004.202 (激光级别3R) 3.001.201 (激光级别2) 3.004.201 (激光级别3R) 3.001.203 (激光级别2) 3.004.203 (激光级别3R) 3.002.200 (激光级别2) 3.004.200 (激光级别3R) 3.005.204 (激光
