ECCO 95.200+
视野范围（近 | 中 | 远）：125 | 190 | 280mm
测量范围：300mm
工作距离：320mm
Z轴垂直分辨率：12-50微米
水平分辨率：66-138微米
Z线性精度：0.015%
Z重复精度：3.3 μm
