ECCO 95.200+
視野範圍（近 | 中 | 遠）：125 | 190 | 280mm
測量範圍：300mm
工作距離：320mm
Z軸垂直分辨率：12-50微米
水平分辨率：66-138微米
Z線性精度：0.015%
Z重複精度：3.3 μm
